La fotolitografia è un processo utilizzato in microfabbricazione per trasferire motivi geometrici su una pellicola o un substrato. Forme e motivi geometrici su un semiconduttore costituiscono le complesse strutture che consentono ai droganti, alle proprietà elettriche e ai fili di completare un circuito e soddisfare uno scopo tecnologico.
Qual è il processo di fotolitografia?
La fotolitografia, chiamata anche litografia ottica o litografia UV, è un processo utilizzato nella microfabbricazione per modellare parti su una pellicola sottile o la maggior parte di un substrato (chiamato anche wafer). … Nei circuiti integrati complessi, un wafer CMOS può attraversare il ciclo fotolitografico fino a 50 volte.
Quali sono i processi di microfabbricazione?
La microfabbricazione è il processo di fabbricazione di strutture in miniatura di dimensioni micrometriche e più piccole. … I principali concetti e principi della microfabbricazione sono microlitografia, drogaggio, film sottili, incisione, incollaggio e lucidatura.
Cos'è il processo di litografia nei semiconduttori?
Un sistema di litografia a semiconduttore intraprende un processo in base al quale schemi di circuiti altamente complessi disegnati su una fotomaschera composta da una grande lastra di vetro vengono ridotti utilizzando lenti ad altissime prestazioni ed esposti su un substrato di silicio noto comeun wafer. …
Cos'è la litografia nel processo di fabbricazione?
La litografia èil processo di trasferimento di modelli di forme geometriche in una maschera su un sottile strato di materiale sensibile alle radiazioni (chiamato resist) che ricopre la superficie di un wafer semiconduttore. La Figura 5.1 illustra schematicamente il processo litografico impiegato nella fabbricazione di circuiti integrati.
